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真空乐动(中国)的工作原理是阀板根据阀座做上下运动而实现封闭的。驱使阀座运动传动部件有手动、手电两动、气动三种方式。手动传动部件,以螺纹结构为主,也可以采用平凸轮构造。图1和图2分别是直角式、直连式真空乐动(中国)结构示意图。手动两用的传动部件,由电机、蜗轮、蜗杆构成,并配有限位开关。
当插上电源后,电机按某一方位(如打开方位)转动,根据蜗轮、蜗杆推动阀座往上运动使阀板升高,当阀上升到一定高度时,限位开关自动关闭电源,阀座运动立即停止,相反也是。手动时,松开手轮背帽,用手按一定方向旋转手轮即可。
气动传动部件以缩小干燥空气为驱动,根据电磁换向阀改变供气方位,促进气缸活塞上下运动,推动阀座上下运动,使阀板打开关掉,从而达到接通或停止气旋的效果。
真空乐动(中国)有高真空乐动(中国)和极高真空乐动(中国)两种。高真空乐动(中国)用以高真空系统接通或截至气旋。适用压力范畴:轴封为橡胶时为1.3×10-4~105Pa;轴封为波纹管构造时为1.3×10-5~105Pa。介质温度:-25~80℃(密封件为丁腈橡胶);-30~150℃(密封件为氟胶)。阀体材料:碳钢镀镍或不锈钢;阀板密封材料丁腈橡胶或氟胶。
高真空乐动(中国)用以超高真空系统接通或截至气旋。适用压力范围为1.3×10-3~105Pa。闸阀打开情况,烤制温度低于400℃;阀体材料为不锈钢;阀板材料为无氧铜;轴封处密封件材料为不锈钢波纹管。这两种真空乐动(中国)使用的介质为洁净的空气或对闸阀耐腐蚀的干净气体。不适合用对其金属有强腐蚀性和含有颗粒情况灰尘的气体前提下长期使用。
高真空乐动(中国)因为具备密封可靠、流导大、安全性好及其可手控、电控、气控等特点,多种形式,规格齐全,公称尺寸DN150~1200,构造合理等,因此,被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统当中,如用以真空镀膜设备,真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设施等。
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